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空気清浄度とは

	クリーンルーム関連で用いられる空気清浄度とは、一定範囲内における粉塵量の定義です。

	空気中に浮遊することができる小さな埃などの粒子や微生物の数量は、設定されているクラスに応じて

	下の表のように決められています。

粉塵個数（1m³内）		クリーンルームの規格・クラス
粒径 0.1μm	粒径 0.5μm	ISO14664-1	JIS B 9920	Fed 209E	Fed 209D
10		Class 1	クラス 1
100	4	Class 2	クラス 2
350	10			M 1
1,000	35	Class 3	クラス 3	M 1.5	クラス 1
3,500	100			M 2
10,000	352	Class 4	クラス 4	M 2.5	クラス 10
35,000	1,000			M 3
100,000	3,520	Class 5	クラス 5	M 3.5	クラス 100
	10,000			M 4
1,000,000	35,200	Class 6	クラス 6	M 4.5	クラス 1000
	100,000			M 5
	352,000	Class 7	クラス 7	M 5.5	クラス 10000
	1,000,000			M 6
	3,520,000	Class 8	クラス 8	M 6.5	クラス 100000
	10,000,000			M 7
	35,200,000	Class 9	－	－	－


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